Sachverzeichnis
3-Phasen-Asynchronmotoren, 457
A
Abkleben, 954
Abkleben mit Folie, 945
Ablenkwinkel, 115
Absorption, 234, 251, 483, 736
Absorptionsmethoden, 693
Absperrorgane, 846
Achslänge, 147
Adsorbat, 233
Adsorbens, 233
Adsorbentien, 541
Adsorption, 483
Adsorptionsenergie, 233
Adsorptionsisotherme Mehrschicht, 248
Adsorptionsisothermen
Monoschicht, 245
Adsorptionsphasengleichgewicht, 539
Adsorptionspumpen, 473, 911
Aufbau, 477
Enddruck, 478
Enddruck mit zwei, 480
Wirkungsweise, 475
Adsorptionsrate, 239
Adsorptionsstromdichte, 239
Adsorptionsverhalten, 506
Adsorptionswärme, 233
Akkommodationsfaktor, 57
Akkommodationskoeffizient, 182, 184, 604
Akkomodationskoeffizient
Energie, 182
Aktivierungsenergie, 233
Aktivkohle, 541
Alkali-Ionen-Messzelle, 942
Alkali-Ionen-Sensor, 707, 713
Alpert, 625
Aluminium, 778
Amerikanische Vakuumgesellschaft, 764
Ammoniak, 943
Amontons, 6, 35
Gesetz, 35
Analogie
elektrische und vakuumtechnische Größe, 865
Analytik, 468
Anlagenlecksuche, 949
Ansprechzeit, 951
Drosselventil, 949
Empfindlichkeit, 951
Anlagensteuerung, 858
Anlaufströmung, 116
Anlaufzeit, 946
Ansprechzeit, 700, 704, 707, 951
Arbeitsdruck, 868
Arbeitsmethoden mit Vakuumsystemen, 855
Arbeitstechnik Feinvakuum, 885
Grobvakuum, 873
Hochvakuum, 895
Ultrahochvakuum, 910
Arrhenius-Plot, 77
ASCII-Protokolle, 858
ATEX 95, 355
ATEX 137,356
Atmosphäre, 30, 966
Atom, 34
Atommasse
relative, 35
Atommassen-Konstante, 34
Auflösungsvermögen, 664 1041
Sachverzeichnis
1042
Ausdehnungskoeffizient, 817
Ausflussfunktion, 98
Ausgasung, 234, 251
Ausgasungsgrad, 253, 255
Ausgasungszeit, 253, 255
Ausgasungszeitkonstante, 253
Ausgleichszeit, 946
Ausheizen, 242, 458, 823
Auspuff-Filter, 361
Auspumpkurve, 243
Auspumpzeit, 463, 878, 886, 908, 914
Ausschleusung
barometrische, 405
Ausschleusung, barometrische, 383
Ausstoßdruck, 449
Avogadro-Konstante, 34, 35
Axial-Ionenquellen, 670
Axiallager, 456
Bad-Kryopumpen, 555
Bad-Kryostat, 532
Baffle, 548
Chevron, 573
Louvre, 549
Baffles, 413
Basisdruck, 460, 466
Basisdrücke, 461
Bauelemente, 805
Bayard, 625
Bayard-Alpert-Ionisationsvakuummeter, 632
Becker, 13
Bedeckungsgrad, 236
Behälter
doppelwandige, 811
Beizen, 819
Belüften, 883, 908
Bernoulli-Gleichung, 393, 395
Bernoullische Gleichung, 95
BET-Isotherme, 249
BGK-Modellgleichung, 181
Bindung kovalente, 233
Binnendruck, 66
Blasenprüfung, 939
Blende, 103
Fluss durch, 224
Strömung, molekulare, 139
Boltzmanngleichung kinetische, 173, 177
linearisiert, 178
Boltzmann-Konstante, 36
Bombing, 959
Boosterpumpe, 703
Boyle, 6
Boyle-Mariottesches Gesetz, 35, 732
Brunauer-Emmett-Teller-(BET-)lsotherme, 248
Bussystem, 855, 858
C
Carnot-Wirkungsgrad, 525
CF-Flansche, 827
Chemiepumpen, 274, 278, 406
chemische Bindung, 234
chemische Prozesse, 406
Chemisorption, 233, 483
Chevronbaffle, 413
Clausing, 138
Clausius-Clapeyron-Gleichung, 77
COF-Bauteile, 832
Compoundpumpen, 449, 452, 459, 461-463
Compound-Turbomolekularpumpen, 703
Computer-Simulation, 143
Cosinus-Verteilung, 136
C ouette- S trömung eben, 193
zylindrische, 196
Crossbeam-Ionenquellen, 671
D
Daltonsches Gesetz, 37, 281
Dampf
gesättigter, 370
überhitzter, 371
Dampfdruck, 370, 537
Dampfdruckkurve, 370
Dampfdruckkurven, 370
Dampf sperren, 413
Dampf Strahlpumpen
Saugvermögen, 423
Dampf strahl-Vakuumpumpe, 388
Dampfstrahl-Vakuumpumpen, 397
mehrstufige, 403
Treibdampfbedarf, 401
degas, 634
Desorption, 234, 235
elektronenstimulierte, 634, 648
Desorption von Wasserdampf, 938
Desorptionsenergie, 238
Sachverzeichnis
1043
Desorptionsrate, 239
Destillation, 406
DeviceNet, 859
Dewar, 532
Dichte Packung, 235
Dichtheit
absolute, 935
Dichtheitsprüfanlage, 957
Dichtheitsprüfung Begriffe, 936
industrielle, 956
Normen zur, 936
Dichtspalte, 319
Dichtung, 828
Dichtungen
Dichtkräfte, 830
Differenzdruckmessung, 592
Diffusion, 251,946
Diffusions-Ejektorpumpen, 418
Diffusionskoeffizient, 63
Diffusionskoeffizienten
Kunststoffe, 802
Diffusionskonstante, 253
Diffusionspumpen, 394, 407
Betriebshinweise, 416
Diffusionskoeffizient, 409
fraktionierende, 414
Kompressionsverhältnis, 409, 425
Pumpwahrscheinlichkeit, 419, 423
Saugvermögen, 416, 421, 423
Treibmittel, 412
Vorvakuumbeständigkeit, 416
Vorvakuumfestigkeit, 425
Diffusionspumpenöl, 339
DIN/ISO 9000, 706
Diodenpumpen, 509
différentielle, 512
Dipolkräfte, 233
Dissoziation, 233, 634
Doppelfokussierung, 698
Dosierventil, 872
Dosierventile, 852
Drehdurchführung, 835
Drehkolbenmanometer, 729
Fläche, effektive, 730
Drehschieberpumpen, 291
Betrieb s verhalten, 297
frischöl geschmierte, 296
ölgeschmierte, 294
trockenlaufende, 294
Wirkungsweise, 292
Drehstromasynchronmotor, 325
Drehstrommotoren, 270
Drehzahlregelung, 270, 325
Drehzahnpumpen, 319
Drehzahlregelung, 325
Northey-Typ, 320
Profil, exaktes, 321,323
Verdichtungsprinzip, 320
Druck
absoluter, 30
kritischer, 101, 120
Druckabfallmessung, 938
Druckanstiegsmessung, 938
Druckbehälterverordnung, 806
Druckdifferenz, 581
Druckeinheiten, 31, 184
Drucklagerung, 959
Drucklagerungsmethode, 959
Druckmessumformer, 608
Druckmessung, 914
Drucknormale, 721
Druckprüfung, 937
Druckregelung, 872
Druckregler, 596
Druckschalter, 596
Druckskale, 724
Druckverhältnis, 129
Druckwaage, 729, 731
DSMC-Methode, 187
Düse, 103
Düsenhutdampfsperre, 414
Durchbiegen, 807
Durchführung
Flüssigkeits-, Gas-, 841
Durchführungen, 835
Durchgangswahrscheinlichkeit, 441, 444
Durchgangswahrscheinlichkeiten, 443
Durchlaufwahrscheinlichkeit, 135
Durchmesser
hydraulischer, 132
Dynoden, 686, 687
E
Edelgasinstabilität, 511
Edelgasstabilisierung, 512
Edelstahl, 776, 1009
Effusion (Ausströmung), 44
Sachverzeichnis
1044
Effusionsstrom, 165
Eigendruck, 66
Eigenleitwert, 139
Messung, 168
Eigenvolumen, 66
Einbauleitwert, 139
Messung, 169
Einhüllen, 945
Einlassdruck
Heliumleckdetektor, 696
Einlaufströmung, 86
Eintrittsleitwert, 441
Eisenbahnen, 10
Vakuum-, 10
Eiskondensatoren, 378
Elastomere, 787, 871
elektrische Leitung
Analogie, 92
Elektronen
Stöße, 626
Elektroneneinfangdetektor, 942
Elektronenstimulierte Desorption, 674
Elektronenstrahl-Schweißen, 813
Elektronenstrahl Verdampfer, 503
Elektropolieren, 820
Emissionsgrad, 546
Emissionskathoden-Ionisationsvakuummeter Aufbau, 629
Betriebshinweise, 640
Empfindlichkeitsdrift, 711
Enddruck, 458, 460, 867, 886, 914
Enddrücke, 432
Energie
Erhaltung der, 96
Energie-Akkommodationsfaktor, 57
Epoxidharz, 789
Erhaltungssätze, 94
ESD (Elektronenstimulierte Desorption), 634
Evakuierung, 237
Evakuierungsgeschwindigkeit, 463
Expansions- bzw. Volumenverhältnisse, 736
Expansionsverfahren Kontinuierliches, 738
kontinuierliches, 723
statisches, 723, 732
statisches, Expansionsverhältnis, 733
Expensionsverfahren
statisches, Expansionssystem, 734
Explosionsmotor, 6
Explosionsschutz, 355
Extraktionselektroden, 637
Extraktor-Ionisationsvakuummeter, 636
F
Fallen, 413
Fanglager, 455, 456
Faraday-Detektor, 685
Federbalg, 842
Feinvakuum-Ionisationsvakuummeter, 630
Feldbus, 859
Feldbussystem, 457, 458
Fernbedienung, 457
Feststoffkondensation, 384
Fettschmierung, 454, 468
Feuchte
relative, 80
Ficksche Gesetze, 251
Ficksches Gesetz, 63
Flächenstoßrate, 44, 176
Flammionisationsdetektor, 942
flüssigkeitsdicht, 938
Flüssigkeitsmanometer, 724
Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen, 279
Bauarten, 284
Betriebsflüssigkeit, 281, 289
Saug vermögen, 283
Flüssigkeitsstrahlpumpen, 395
Anwendungen, 396
Endddruck, 396
Flussmessgeräte, Gas, 620
Flussteiler, 744
Fluten, 467
Flutventil, 450
Folienprüfkammer, 960
Fouriesches Gesetz, 180
Fraktionieren, 414
Freiheitsgrad, 56
Frequenzwandler elektronische, 457
mechanische, 457
Freundlich-Adsorptionsisotherme, 246
Frischölschmierung, 296
G
Gaede, 12,407,434
Gaede-Pumpen
Kompressions Verhältnis, 436
Saugvermögen, 435
Sachverzeichnis
1045
Gaedepumpstufe, 434
Gaedesche Formel, 443
Gaedesche Molekularpumpen, 432, 434
Galilei, 2
Gasabgabe, 791,796
Gasballast, 270, 295, 344
Erfindung,13
Gas-Dampf-Gemisch, 375
Gasdosiersystem, 739
Gasdurchfluss
Einheiten, 89
Gasdurchlässigkeit, 791
Gläser, Keramik, 793
Kunststoffe, 794
Metalle, 793
Gasdurchsätze, 468
Gasdurchsatz, 460
Gasdynamik, 94
Gase
reale, 65
Gasentladung, 641
Gasentladungen, 11
Gasflussmessgeräte, 620
Gasgesetz, 29, 36
Gaslast, 464
Gasreibung, 600
Gasreibungsvakummeter Kalibrierung, 753
Langzeitinstabilität, 754
Gasreibungsvakuummeter, 580, 598, 737, 752
Restabbremsung, 600, 605
Rotorerwärmung, 603
Gasstrom, 206
Einheiten, 89
Gastheorie
kinetische, 39
Gasverdünnungsparameter, 174
Gay-Lussac
Gesetz, 35
Gegendruck, 113
Gegenstromleckdetektor Ansprechzeit, 703
Empfindlichkeit, 702
Nachweisgrenze, 703
Nachweissystem, 702
Prinzip, 702
Vorteile, 702
Vorvakuumpumpe, 703
Gegenstromleckdetektoren
Schnüffeln mit, 706
GEM, 859, 860
Geschwindigkeit effektive, 44
kritische, 102
mittlere, 44, 176
wahrscheinlichste, 44
Geschwindigkeitsprofil, 117, 190, 194, 197, 209,210
Kanal, 208
Rohr, 208
Geschwindigkeitsschlupf, 189
thermisch, 191
Geschwindigkeitsverhältnis, 441, 442
Geschwindigkeits Verteilung, 174
Geschwindigkeitsverteilungsfunktion, 176
Getter
Wirkungsweise, 483
Getterkapazität, 490
Getterpumpen, 474
Gifford-McMahon-Verfahren, 528
Gitternetz, 186
Gläser, 780
Elartgläser, 784
Quarzglas, 784
Sinterglas, 785
Weichgläser, 783
Glasperlenfeinstrahlen, 821
Gleichgewicht globales, 176
lokales, 176
Gleichstrommotoren, 270, 457
Gravitationswellendetektoren, 23, 238
Grenzleckrate, 935, 955
Guericke, 3
H
Haftwahrscheinlichkeit, 239, 240, 495
Hagen-Poiseuille-Formel, 118
Halbkugeln, 4
Halbleiterindustrie, 264, 858-860
Halogenleckdetektor
mit Alkali-Ionen-Sensor, 713
Halogenleckdetektoren
mit Infrarotsensor, 714
Halogenlecksucher, 943
Harte-Kugel-Modell, 39, 65
Hartgläser, 784
Hartlote, 815
Sachverzeichnis
1046
Hauptrotor, 321
Hauptstromleckdetektor Ansprechzeit, 701
Empfindlichkeit, 700
Nachweisgrenze, 701
Nachweissystem, 701
Prinzip, 700
Vorteile, 701
Heizfaden, 632
Heizfaden-Materialien, 672
Helicoflex®-Dichtung, 833
Helium, 928
aus der Atmosphäre, 706
Diffusionskoeffizient, 925
Empfindlichkeit des
He-Sektorfeldmassenspektrometers, 699
Permeationsleck, 709
Prüfgas, 696, 924
Prüfleck, 711
Heliumgegenstromlecksucher, 459
Heliumleckdetektor Einlaßdruck, 699
Zeitverhalten, 700
Heliumleckdetektoren, 696, 943
Ansprechzeit, 943
Einlassdruck, maximal zulässiger, 943
Heliumsaugvermögen, 943
Leckratennachweisgrenze, 943
Spezifikationen, 943
Zeitkonstante, 943
Heliumsaugvermögen, 700, 701
Heliumsektorfeldmassenspektrometer, 697
Helmer, 637
Henrysche Adsorptionsisotherme, 246
Hilfspumpe, 701
Hintereinanderschaltung, 150, 151
Hobsons Modell, 243
Hochvakuumpumpstand, 897
Ho-Faktor, 419, 441, 443
Holweckpumpe, 226
Holweckpumpen, 438
Holweckrotoren, 452
Holweckstufe, 438, 703
Holweckstufen, 451
HSMS, 860
Hubkolbenpumpen, 265
Huckepack-Prinzip, 297
Hüllenverfahren, 956
Hugoniot-Gleichung, 108
Hybrid-Pumpen, 418
Impuls-Akkommodationsfaktor, 52
Impulsakkomodationsfaktor, 752
Impulse
Erhaltung des, 95
Impulsfluss, 175
Indium, 779
Induktionszeit, 933
Inertgas-Dampf-Gemisch, 376
Infrarotabsorption, 707
Infrarot-Sensor, 714
Interbus, 859
Inversionskurve, 526, 527
Inversionstemperatur, 526
Ionendetektoren, 662
Ionen-Getterpumpen, 474
Ionenimplantation, 504
Ionenquellen, 662, 667
axiale, 670
Crossbeam-, 668, 671
geschlossene, 670
offene, 668
Ionenspektroskopie-Vakuummeter, 638
Ionenstrom-Transmission, 678
Ionenverlust, 677
Ionenzählbetrieb, 687
Ionenzerstäuberpumpen, 474, 911
Arbeitstechnik, 517
Aufbau, 508
Diodentyp, 509
Edelgasinstabilität, 511
Edelgasstabilisierung, 512
Lebensdauer, 508
Restgasspektrum, 516
Saugvermögen, 507, 509
Startdruck, 518
Triodentyp, 513
Wirkungsweise, 504
Ionisationsvakuummeter, 623, 654, 720, 755, 914
Anzeige, Gasartabhängigkeit, 650
Bayard-Alpert, 632
elektromagetische Felder, gekreuzte, 623
Emissisionskathode, 623
Feinvakuum, 630
Geschichte, 624
Sachverzeichnis
1047
Heizfaden, 632
Kalibrierung, 755
Langzeitinstabilität, 757
Messprinzip, 626
Modulatormethode, 635
Orientierung, 654
Saugvermögen, 649
Störeinflüße, 634
Triode, 624
Ionisierung
différentielle, 626, 627
Isentropenexponent, 57, 97
ISO, 720
ISO-Flansche, 826
ISO-Gewinde, 832
Isotherme, 37
ITER, 571
ITS-90, 32, 33
J
Justierung
Heliumleckdetektoren, 711
K
Kälte-/Klimaanlagen, 955
Kältemittel, 707, 708, 942
Kältemittelleckdetektoren, 707
Kältemittellecks, 955
Kältemittelverluste, 955
Kältetechnik, 523
Kalibrieren, 719
Kalibrierfaktor, 711
Kalibriergase, 736
Kalibrierkammer, 741, 742
Anordnung Flansche, 743
Kalibrierkammern, 746
Kalibriersystem, 741
Kalibrierung, 580, 721,760
Leckdetektoren, 711
Prüflecks, 711
Temperatur, empfohlene, 744
Unsicherheit, 711
Kalibrierverfahren
Druck-Zeit-Verfahren, 746
optische Verfahren, 746
Vergleichsmeßverfahren, 746
Kaltkathodenionisationsvakuummeter, 623
Kanal, 206
Kapazitätsvakuummeter, 591, 748
Kalibrierung, 748
Langzeitinstabilität, 752
Kapillardepression, 725
Kapillare, 709
Kapillarlecks, 710
Kapselfedervakuummeter, 582
Kathodenzerstäubung, 505
Kavitation, 283
Kavitationsgrenze, 284
Kavitationsschutz, 287, 291
Kelvin, 31
Kenngrößen
Vakuumpumpen, 763
Keramik, 785
Glaskeramik, 786
Reinoxid-Keramik, 786
Silikat-Keramik, 786
KF-Flansche, 825
kinetische Gastheorie, 39
Klammerflansche, 826
Klauenpumpen, 319
Klebeverbindung, 816
Klimageräte, 708
Klöpperboden, 808,811
Knudsen, 12, 143
Knudsengleichung, 160, 214
Knudsenminimum, 212
Knudsennäherung, 160
Knudsen-Strömung, 85
Knudsenzahl, 85, 173
Kohlefaserhülsen, 452
Kohlendioxid, 928
Kolbenpumpen, 265
Komponenten, 944
Kompression
adiabatische, 350
isentrope, 350
isotherme, 349
polytrope, 350
Kompressionsarbeit, 348
Kompressionsleistung, 351
Kompressionsmanometer, 727
Kompressionsverhältnis, 227, 329, 438, 441, 460, 461
Diffusionspumpen, 409
Kompressions Verhältnis, effektives, 331
Kompressionsverhältnisse, 432, 444, 449, 461
Kondensate, 551
Kondensation, 237, 345, 369, 371, 375, 459
Sachverzeichnis
1048
Gas, 536
Kondensationsfläche, 377
Kondensationspumpen, 369
Kondensationsstromdichte, 562
Kondensationstemperatur, 369, 377
Kondensations wärme, 369
Kondensationswahrscheinlichkeit, 79
Kondensatoren, 369
Kondensataustrag, 383
Kühlmittel, 378
Regelung, 388
Kontinuums-Strömung, 85
Kontraktion, 103
Korngrenzen, 256
Korrosivgaspumpen, 458
Kovar, 817
Kreisrohr
konisches, 154
Kriechbarriere, 413
Kriechkoeffizient, 207
kritische Größen, 102
kritischer Punkt, 77, 100
Kryopumpen, 523, 533
Anwendungen, 570
Cross-over-Wert, 565
Enddruck, 562
Kapazität, 565
Regeneration, 567
Saug vermögen, 552, 563
Standzeit, 564
Startdruck, 561
Kryosorption, 539
Kryostat, 532
Kryotechnik, 523
Kryotrapping, 544
Kühlfalle, 701, 957
Kühlmittel, 369, 379, 790
Kühlwasser, 378
Kugellager, 454, 467
Kunststoffe, 787
Duroplaste, 789
Elastomere, 787
Thermoplaste, 788
Kupfer, 778
L
Lafferty-Ionisationsvakuummeter, 639
Lagerung, 454
Lambert-Beersche Gesetz, 694
Lamellenpumpen, 294
Langmuir
Adsorptionsisotherme, 246
Haftwahrscheinlichkeit von, 239
Langzeitinstabilität, 752, 754
Langzeitstabilität, 721
Lavaldüse, 110
Lebensmittelverpackungen, 960
Lechsuchmethoden
Drucklagerung, 959
Leck
Arten, 930
Permeationslecks, 933
Porenlecks, 931
virtuell, 811
Leckdetektoren, 696
trockene, 703
Lecklokalisierung, 945
Leckprüfung
Serienbauteile, 956
Leckrate
Druckkorrektur, 945
Einheiten, 929
Konzentrationskorrektur, 945
Massestrom, 929
standardisierte, 944
Umrechnung, 945
Umrechnungsfaktoren, 929
Lecks
Llüssigkeits-, 934
Llüssigkeitsaustritt, 934
flüssigkeitsdichte, 935
Massenspektrum, 941
Oberflächenspannung bei Llüssigkeiten, 934
virtuelle, 934
Leckstellen
Lokalisierung von, 945
Lecksucher, 696
Lecksuchmethoden Hüllenverfahren, 956
Prüfung, integrale, 944
Schnüffelmethode, 954
Serienprüfung, 940
Lecksuchtechniken, 923
Lecksuchverfahren, 935
Anforderungen an den Prüfingenieur, 935
Leistung
spezifische, 323
Leitwert, 92, 118, 133,743
Sachverzeichnis
1049
Blende, 156
charakteristischer, 168
charakteristischer, Messung, 168
Kreisrohr, 144
Kreisrohr, gesamter Strömungsbereich, 159
Messung, 168
reduzierter, 139, 168
reduzierter, Messung, 169
Strömung, molekulare, 139
Leitwertfunktion, 160
Leitwertlecks, 709
Lineardurchführung, 835
Linearität, 712
Linearitätsabweichungen, 712
Lötverbindungen, 814
Loschmidt-Zahl, 36
Luft
Dichte, 2, 38
Normdruck, 30
Zusammensetzung, 38
Luftleck, 942
M
Mach winkel, 113
Machzahl Ma, 101
Macor, 779, 786
Magdeburger Halbkugeln, 4
Magnetfeldabschirmung, 779
Magnetfelder, 467
Magnetische Sektorfeld Massenspektrometer, 681
Magnetlager
aktive, 454, 455
radiale, 456
Magnetlagerung
Turbomolekularpumpen, 455
Magnetron, 646
invertiertes, 646
Manipulatoren, 837
Masse
Erhaltung der, 94
molare, 34, 35
Massen-Analysator, 662
Massen-Analysatoren, 675
Massenflussregler, 872
Massenspektren von Kältemitteln, 708
Massenspektrometer, 662
doppeltfokussierende, 698
Steuersoftware, 691
Massenspektrum Artefakte, 673
Massenstromstärke, 87
Maxwell-Boltzmann-Verteilung, 42
Maxwellverteilung, 176
McLeod, 9, 10, 727
MCP, 689
Membranbalg, 843
Membranpumpe, 266
Drehzahlregelung, 270
Membranpumpen, 703
Enddruck, 271
Konstruktion, 273
Saugvermögen, 271
Membranvakuummeter, 585
piezo-resistives Prinzip, 587
MEMS, 681
Messunsicherheit, 711
Metalle, 775
Dampfdruck, 797
Metallkryostate, 532
Methan, 928, 942
MicroChannel Plate Detektor, 689
Mikroelektronikindustrie, 20
Mikroplasma-Schweißen, 813
Mischkondensatoren, 381, 403, 404, 407
Modulator, 635
Mol, 34
molares Normvolumen, 36
Moleküle, 34
Molekularpumpen, 431, 434,437
Molekularpumpen nach Siegbahn, 439
Molekularsieb, 541
Molekularstrahl verfahren, 746
Momente, 175, 179
Monitoring, 855
Monoschicht, 235
Mono-Zeit, 250
Monozeit, 496
Monte-Carlo Methode
test particle, 188
Monte-Carlo Simulationsrechungen, 742
Monte-Carlo-Methode, 187
Monte-Carlo-Simulation, 143
Motorschutzschalter, 353
MSLD, 706
Mu-Metall®, 780
Sachverzeichnis
1050
N
Nachweisempfindlichkeit, 951
Nadelventil, 852
NEG-Material, 487
NEG-Pumpen, 484, 914
Aktivierung, 485, 491
Anwendung, 492
Aufbau, 489
Belüften, 493
Betriebshinweise, 492
Saugvermögen, 490
Netzwerk
Berechnung Vakuumsystem, 865
Neutralteilchenimplantation, 505
Newtonscher Ansatz, 179
Nichtgleichgewichtsfunktion, 178
Nichtlinearität, 711
Normalstahl/Allgemeine Baustähle, 776
Normdruck, 30
Normtemperatur, 32
Normzustand, 32
Northey-Typ, 320
Nottingham, 625
NPT-Gewinde, 832
NTC-Methode, 187
Nullpunktdrift, 711
O
Oberfläche
spezifische, 475
Oberflächenanalytik, 23
Oberflächenbehandlung, 819
Oberflächenkondensatoren, 379, 403
Öldampfrückströmung, 466
Öl-Diffusionspumpen, 412
Öle, 790
Ölfilter, 295, 298, 360
Ölnebelabscheider, 295, 298, 361
Ölreinigung, 360
Ölreservoir, 295
Ölrückströmung, 343
Ölschlag, 294, 301
Ölschmierung, 454, 455
Ölstand, 354
OFHC-Kupfer, 778
Okklusion, 234
Orbitronpumpen, 474, 519
Oszillationsverdrängerpumpen, 264
Ozalidpapier, 943
Parallelschaltung, 92
Partialdruck, 663
kleinster nachweisbarer, 664, 667
Partialdruckempfindlichkeit, 698
Partialdruckmessgeräte, 662, 757
Auflösungsvermögen, 664
Beitrag zur Nachbarmasse, 664
Empfindlichkeit, 664
Ionenquellen, 667
Kalibrierung, 757
Partialdruckmes sung
optische Methoden, 693
Partikel, 264
Partikelarmut, 824
Pascal, 3
Penning, 14, 625
Penningentladung, 504, 507
Penning-Vakuummeter, 641
Penningzelle, 507, 644
Permanentmagnetlager, 454, 455
Permeation, 256, 257, 791, 944
Permeationslecks, 709, 710
Phasenvolumen, 175
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, 721,
734, 748
Physisorption, 483
Pirani, 14, 608
Pirani-Vakuummeter, 62
Plattenbaffle, 413
Plattenfedervakuummeter, 582
Plenisten, 3
Poiseuille-Koeffizient, 207-209, 212, 213
Poisson-Gleichung, 97
Prallplatte, 742
Prandtl-Meyer, 113
Prandtlzahl, 180
Primärnormal, 580, 721, 722
Vergleiche, 724
Produktionssteuerung, 858
Profibus, 859
Profinet, 859
Prozessdatenanalyse, 861, 863
Prozessgas, 459
Prozessgase, 458
Prozessgasstrom, 868
Prozessparameter
Überwachung, 861
Prozesssensor, 857
Sachverzeichnis
1051
Prozesssensoren, 858-861
Prozessüberwachung, 858
AEC, 862
APC, 858, 862, 863
FDC, 862, 864
PCA, 863
SPC, 862
Prüfgase, 927, 955
Prüf gas verfahren, 940
Prüfkammerverfahren, 945
Prüflecks, 709, 955
Kalibrierung, 711
Temperaturkoeffizient, 710
Prüfmittel, 711,940
psi, 31, 184
Pulsrohr-Verfahren, 530
Pumpen
trockene, 26, 262
Pumpenöle, fluorierte, 437
Pumpstände, 287, 324, 470
Feinvakuum, 892
Grobvakuum, 877
Pumpstand, 278
Pumpwahrscheinlichkeit, 441, 443
pV-Diagramm, 349
pV-Durchfluss, 88
pV-Stromstärke, 88
Q
Quadrupol-Massenanalysator, 675
Quadrupol-Massenfilter, 676
Stabilitätsbereich, 678
Quadrupol-Massenspektrometer, 663, 667, 675, 679, 692-694,757,941
miniaturisierte, 679
Transmission, 678
Quadrupolmassenspektrometer, 707
Qualitätsnorm ISO 9001, 943
Quarz-Bourdon-Vakuummeter, 584
Quarzglas, 784
Quarzglasmembrane, 712
Quecksilber, 412
Quecksilberdichte, 726
Quecksilber-Diffusionspumpen, 412
Quecksilbermanometer, 726
Quecksilberpumpen, 12
Querschnitt
rechteckförmiger, 132, 133, 146, 147
ringkreisförmiger, 148
ringspaltförmiger, 132
spaltförmiger, 133, 146
R
Raumladung, 505, 643
reduzierter Fluss, 220
Reflektion, 183
diffus-spiegelnd, 183
Reflektorelektroden, 637
Refrigerator-Kryopumpen, 530, 555
Regeneration, 567
Regenerator, 527
Reinigung
Vakuummeter, 895
Reinigungsverfahren, 821
Reinraum, 706
Rekuperator, 527
Restabbremsung, 600, 605
Restgas-Analysatoren, 661
Reynolds-Zahl, 87
Reynoldszahl, 117
ringspaltförmiger Querschnitt, 146
Röhrenfedervakuummeter, 583
Röntgen, 12
Röntgeneffekt, 632
Inverser, 634
Röntgengrenze, 648
Rohr, 206
Rohrbogen, 147
Rohrbündelkondensatoren, 379
Rohrknie, 147
Rohrreibungszahl, 119
Rohrschlangenkondensatoren, 378
Roots-Pumpen, 263, 326
Rotation, 56
Rotationsvakuumpumpen
trockene, 264
Rotationsverdrängerpumpen, 262
einwellige, 262, 279
zweiwellige, 262, 310
Rotor, 452
Rotorbruch, 466
Rotoren, 450, 452
Rotorscheiben, 432, 449
Rotortemperatur, 464
Rückdiffusion, 410, 413
Rückschlagventil, 295, 359
Rückströmung, 434, 435, 437, 438
Ruhedruckverhältnis, 109, 410
Sachverzeichnis
1052
S Modell, 182
Sättigungsdampfdruck, 76, 796, 870
Lösemittel, 78
Metalle, 78, 797
Nichtmetalle, 797
Sättigungsstrom, 385
Sättigungstemperatur, 370
Saphir, 787
Saugleistung, 89, 464
Saugstutzenventil, 359
Saugstutzenventile, 353
Saugvermögen, 89, 271, 438, 441, 442, 460, 461,649,763,967
effektives, 93
Gasartabhängigkeit, 271
Holweckpumpe, 227
kritisches, 106
Regelung, 872
Saugvermögensmessung, 764
sccm, 88
Schalenbafile, 413
Schallgeschwindigkeit, 100
Schaufelgeschwindigkeit, 440
Schaufelwinkel, 442
schaumbildende Lösung, 940
Scherspannung, 174, 175, 179
Schieber, 294
Schieberverschleiß, 297
Schlupf
Randbedingung, 189
Schlupfströmung, 208
Schmetterlingsventile, 850
Schnüffeleinrichtung, 706
Schnüffellecksuche
an Kälte-/Klimaanlagen, 955
integrale, 953
Lecklokalisierung, 954
Schnüffelgeschwindigkeit, 954
Schnüffelmethode Messergebnis, 926
Prüfgasverteilung vor einem Leck, 925
Schöpfraum, 268, 293
Schott, 5
Schraubenpumpen, 310
Saug vermögen, 315
Zahnprofil, 311
Schwefelhexafluorid, 929, 942
Schweißen
Elektronenstrahl, 813
Laser, 813
Mikroplasma, 813
Orbital, 813
Reib-, 813
WIG, 812
Schweißnaht, 954
vakuumgerecht, 812
Scroll-Pumpen, 307, 705
SECS, 859, 860
Sekundärelektronen-Vervielfacher, 685
Sekundärnormal, 721
Selbstdiffusion, 64
SEMI, 859
Sensoren
Integration von, 858
Serienschaltung, 92, 150
SEV, 685
Sicherheitsventile, 358
Sichtfenster, 844
Siegbahnstufe, 439
Sievertsches Gesetz, 486
Silikonöl, 339
Sinterglas, 785
Solarzellen, 20
Sorption, 233, 234
Sorptionsfallen, 357
Sorptionsgleichgewicht Helium, 543
Wasserstoff, 543
Sorptionsmittel, 358
Sorptionspumpen, 473
Spalt, 437
Spaltweiten, 438
Sperrgas, 458, 468
Sperrschieberpumpen
Pump stufen, 304
Spinning Rotor Gauge, 598
Spülgas, 704
Stahl
Sonderlegierungen, 777
StarCell® -Triodenpumpen, 515
Statisches Expansionsverfahren Expansionsverhältnis, 736
Kalibriergase, 736
Zusatzvolumen, 735
Statorscheiben, 432, 449
Staubfilter, 362
Steckverbindungen, 834
Sachverzeichnis
1053
Steuerrotor, 321
Stirling-Verfahren, 527
Störungsfunktion, 178
Stoffmenge, 34
Stoffmengenstromstärke, 87
Stoßintegral, 177, 181
Stoßoperator, 178
Stoßzeit
mittlere, 49
Strahlpumpen, 397
produktdampfbetriebene, 407
Strahlpumpenstufe, 388
Strahlung, 546
Strahlung s stromstärke, 546
S trahi Vakuumpumpen, 394
Streukern, 182
Cercignani und Lampis, 183
Streuung
diffus, 183
Strömung
Gasartabhängigkeit, 134
gasdynamische, 86
isotherme, 216
Kreisrohr, 118
kritische, 99
kurze Leitung, 121
laminare, 87, 118, 121, 133
lange Leitung, 121
molekulare, 84, 135, 139
molekulare, Kreisrohr, 144
molekulare, Länge, mittlere, 143
molekulare, Rohr, kurzes, 142
molekulare, Rohr, langes, 142
Querschnitt, nicht-kreisförmiger, 132
stationäre, 94
turbulente, 119, 122
um eine Ecke, 113
verblockte, 102
viskose, 85
Strömungsbereich
viskoser, 176
Strömungsgeschwindigkeit, 85, 117, 175
kollektiv, 174
Strömungsleitwert, 92, 139
charakteristischer, 139
Strömungswiderstand, 91, 139
Stromstärke, 87
Sublimieren, 76
Suppressor, 698
Sutherland-Korrektur, 49
Swagelok® VCR®-Verbindungen, 831
Taktzeit, 957
Tantal, 513
Taupunkttemperatur, 369
TCP/IP, 858
Teilchenanzahldichte, 34, 175
Teilchenanzahlstromstärke, 87
Teilchenbeschleuniger, 238
Teilchendurchmesser, 54
Teilchengeschwindigkeit
mittlere, 88
Teilchenmasse relative, 35
Teilchenstrom, 138
Teil strombetrieb, 948
Teil Stromfaktor, 948
Teil stromverfahren, 948
Temkin-Isotherme, 247
Temperatur, 31
Temperaturdifferenz
mittlere, 372
Temperaturkoeffizient, 709
Temperaturkorrektion, 751
Temperaturskala
thermodynamische, 35
Temperatur sprung, 189, 192
Testlecks, 760
Kalibrierung, 760
thermische Effusion, 164
Thermische Transpiration, 749
thermische Transpiration, 164, 221, 594, 653
Thermischer Kriechkoeffizient, 213, 214
thermisches Kriechen, 207
Thermistoren, 618
Thermocouple, 617
Thermoelementvakuummeter, 617
thermomolekulares Druckverhältnis, 221
Tieftemperaturmessung, 533
Titan, 513,777
Titanverdampferpumpen, 501, 503, 912
Torr, 31
Torricelli, 2
Totpunkt, 264, 265
Totraum, 321
Totvolumen, 265, 267
Totzeit, 687, 946
Sachverzeichnis
1054
Transportkoeffizient, 179
Treibmittel, 393, 408, 412
Treibmittelpumpen, 393
Treibstrahl, 393
Treib ström, 398
Trichter, 154
Triode, 624
konzentrische, 629
Triodenpumpen, 513
Tripelpunkt, 31
Trochoidenpumpen, 305
Trocknungsprozess, 387
Turbinenkondensatoren, 377
Turbomolekularpumpen, 431, 449, 913
Anwendungen, 468
Aufbau, 449
Belüften, 467
Betrieb, 466
Enddruck, 461
Kompressionsverhältnis, 441, 443, 461
Lagerung, 453
Pumpmechanismus, 440
Saugvermögen, 442, 460
Sicherheitsanforderungen, 452
Wärmehaushalt, 446
Turbomolekularpumpstufe, 440
Turbomolekularpumpstufen, 441
U
Überdeckungsverhältnis, 442
Überdrucklecksuche, 924, 942
mit Heliumleckdetektor, 953
Übergangsgebiet
Strömung im, 210
Übergangsströmung, 85
Überhitzung s wärme, 371
Ultrahochvakuumsysteme, 915
Umfangsgeschwindigkeit, 452
Unterkühlung, 377
U-Rohrmanometer, 725
y
Vacuum-Firing, 824
Vakuisten, 3
Vakuum absolut, 9
Definition, 30
relatives, 30
Vakuumanlage
Anschlusspunkte des Lecksuchers, 949
Vakuumanlagen, 947
Vakuumbehälter
Dimensionierung, 808
Vakuumfette, 789
Vakuumglühen, 256
Vakuumkammerverfahren, 957
Vakuumlecksuche, 696, 924
Vakuummesstechnik, 13
Vakuummeter
mechanische, 581
piezo-elektrische, 589
Vakuummeterkonstante, 627, 757
Druckabhängigkeit, 627
Vakuumprozesskammer, 856
Vakuumprozesssysteme, 855
Vakuumprozesstechnik, 464, 468
Vakuumpumpe, 369
Vakuumpumpen, 24
Enddruck, 867
Vakuumschütze, 20
Vakuumsystem längstes, 23
Vakuumsysteme
Berechnung, 864
Vakuumtechnik
Anwendungen, 19
Aufgaben, 19
Vakuum-Trocknungsanlage, 386
Van-der-Waals-Kräfte, 233
Van-der-Waals-Zustandsgleichung, 66
Ventil
Dosierventil, 852
Durchgangsventil, 848
Eckventil, 848
Klappventil, 850
Schieberventil, 850
Ventile, 846
ventilloser Betrieb, 899
Verblockung, 101, 120, 124
Verdampfen, 76
Verdampfer-Getterpumpen, 474
Verdampfergetterpumpen Aufbau, 499
Getterkapazität, 498
Verdampfer-Kryopumpen, 743
Verdampferkryostat, 532
Verdampferpumpen, 494
Materialien, 494
Sachverzeichnis
1055
Saug vermögen, 495
Verdampfung, 371
Verdampfungsenthalpie, 76
spezifische, 77
Verdampfungsrate, 79
Verdampfungsström, 870
Verdampfungsstromdichte, 562
Verdampfungswärme, 237
Verdichtung
innere, 319
Verdichtungsstoß, 108, 398
Verdrängerpumpen, 261
Betriebshinweise, 352
Leistungsbedarf, 348
sicherheitstechnische Hinweise, 355
Verdrängerpumpen, ölgedichtete Enddruck, 338, 339
Endpartialdruck, 338
Ölrückströmung, 343
Saugvermögen, 338
Vergleichsmeßverfahren, 746
Vergleichsmethode, 721
Verschmelzung, 817
Verschmutzungsfaktoren, 377
Verteilungsfunktion, 177, 178
Vibration, 56
Vielzellenpumpen, 294
Virialentwicklung, 67
Virialkoeffizient, 67
Viskosität
dynamische, 179, 180
Volumen
schädliches, 264
Volumengetter, 484
Volumengetterpumpen, 474
Volumenstoßrate, 49
Volumenstromstärke, 87
Vorvakuumdruck, 450
Vorvakuumdrücke, 449
Vorvakuumfestigkeit, 425
Vorvakuumpumpen, 466
Vorvakuumverträglichkeit, 461
W
Wälzkobenpumpen Installation, 338
Wälzkolbenpumpen, 263, 326
Betriebshinweise, 338
Gasstrom, effektiver, 329
Grundlagen, theoretische, 329
Kompressioneverhältnis, 329
Kompressionsverhältnis, 331
Konstruktion, 327
Wirkungsgrad, volumetrischer, 331
Wirkungsweise, 326
Wärmedurchgangskoeffizient, 372, 374
Wärmefluss, 175
Wärmeisolation, 523
Wärmekapazität, 56
spezifische, 57
Wärmelast, 545
Wärmeleistung, 448
Wärmeleitfähigkeit, 180, 374, 551
Wärmeleitungsström, 549
Wärmeleitungsvakuummeter Betriebshinweise, 618
Drahttemperatur, konstante, 612
Heizung, konstante, 616
Nullpunktkompensation, 615
Wärmestrom, 201, 203, 372
Wärmetransport, 200
Wärmeübergangskoeffizient, 374
Wahrscheinlichkeitsdichte, 178
Wanddicke, 808
Wartung, 467
Wasserdampfdesorption, 699
Wasserdampfverträglichkeit, 391
Wasserdichtheit, 936, 940
Wasserdruckprüfung, 935
Wasserringpumpen, 279
Wasserstoff, 928
Wasserstoffarmglühen, 824
Wasserstoffkrankheit, 778
Wasserstrahlpumpen, 396
Wasserstrahl-Vakuumpumpen, 395
Weglänge
freie, äquivalente, 173
mittlere freie, 47
Weichgläser, 783
Weichlöten, 814
Wellbälge, 842
Weltraumsimulation, 24
Werkstoffe, 773
Anforderungen, 773
Gasabgabe, 791
keramische, 785
Kunststoffe, 787
Wheatstonesche Brücke, 614, 616
Sachverzeichnis
1056
Wheelerflansch, 833
Wider stands verdampf er, 502
WIG-Schweißen, 812
Windkraftanlage, 20
Winkel Verteilung, 136
Wirkungsgrad, volumetrischer, 332
Z
Zahnprofil, 312
Zeitkonstante, 951
Zeolithe, 475, 787
Zerstäuberpumpen
lineare, 516
Zustandsänderung adiabatisch, 96
adiabatische, 96
isentrope, 96
Zustandsgieichung, 36
Zustandsgrößen, 32
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